1. Форма широко используется при проектировании небольших и низкосортных мастерских с чистыми помещениями. Для больших площадей высокочистых цехов эксплуатационные расходы слишком высоки.слишком большое пространство и другие недостатки.
2.Конструкция формы может удовлетворить требования большой площади и высокого уровня отсутствия пыли в цехе по производству интегральных схем, но эксплуатационные расходы высоки, а скорость ветра и объем воздуха в чистом помещении трудно регулировать, и систему сложно модернизировать и трансформировать, поэтому гибкость эксплуатации не особенно высока.
3.Система циркуляции головки не только экономит рабочее пространство, обеспечивает чистоту, высокую безопасность, низкие эксплуатационные расходы и высокую эксплуатационную гибкость, не влияет на производственную ситуацию в любое время для модернизации и настройки системы, может хорошо удовлетворить потребности производства полупроводников. , поэтому в производстве полупроводников система циркуляции головки постепенно становится основной схемой очистки.